氮氧化物 （NOx） 由锅炉、燃烧炉、汽车尾气（移动源）等燃烧以及金属与硝酸反应产生。 在大气环境中，它几乎以 NO 和 NO2 的形式存在，由于是空气污染物，是酸雨和光化学烟雾的致病物质。
氮氧化物 （NOx） 使用氧化还原湿法处理。 这是一个双塔填充塔系统，其中 NO 用氧化剂氧化成 NO2，然后用还原剂进一步还原成 N2。

用于半导体硅晶片制造工艺中排放
的 NOx 气体处理（NOx 处理），在铸锭切割、蚀刻和镜面抛光过程中使用 HF+HNO3 作为清洁溶液